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铝靶材

铝靶材是用于真空镀膜行业溅射靶材中的一种,是高纯铝经过系列加工后的产品,具有特定的尺寸和形状高纯铝材料,安装在真空镀膜机上,溅射成膜。

中文名:铝靶材

外文名:Aluminum Target

用途

真空溅射镀膜

产地:中国

名称:铝靶材

物理性质

元素符号:Al靶材

相对分子质量:26.98

蒸发潜热:11.4

原子体积:9.996*10-6

蒸汽压:660/10-8-10-9

用途:

适用于直流二极溅射、三极溅射、四级溅射、射频溅射、对向靶溅射、离子束溅射、磁控溅射等,可镀制反光膜、导电膜、半导体薄膜、电容器薄膜、装饰膜、保护膜、集成电路、显示器等,相对其它靶材,铝靶材的价格较低,所以铝靶材是在能满足膜层的功能前提下的首选靶材料。

分类:

铝靶材有平面铝靶材和旋转铝靶材之分

平面铝靶材是片状的,有圆形、方形等。

旋转铝靶材是管状的,利用效率高,但不易加工,要通过高纯铝挤压、拉伸、校直热处理,机加工等多种加工工序才能最终制得铝旋转靶材成品。

生产方法:

1、铝的生产和提纯[1] :铝是从铝土矿中提取Al2O3,再在熔融冰晶石中电解而得到的,纯度一般在99%以上,但这样纯度的铝根本无法作为生产铝靶材的原材料,铝靶材对铝材的第一个要求也是最重要的要求就是纯度要高,铝靶材所用的高纯铝是再经过偏析法、三层电解法或联合区域熔炼法生产而成的,价格要比工业纯铝99.7贵很多,目前国内最高纯度在99.9999%(6N)左右。

2、铝靶材的变形处理:有了高纯度铝锭作为原材料,对原材料进行锻造、轧制、热处理等,使铝锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铝靶材的要求。

3、对变形处理后的高纯度铝材料进行机械加工,铝靶材加工要求精度高、表面质量高,加工成真空镀膜机所需的靶材尺寸就可以了,铝靶材与镀膜机多以螺纹相连接。

目前概况

靶材名称

铝靶材

常用纯度

99.9%(3N)

99.99%(4N)

99.999%(5N)

99.9999%(6N)

常用尺寸:100*40mm

展望近些年来,随着集成电路(IC)技术的进步,围绕集成电路的相关应用得到迅速发展,超高纯铝合金溅射靶材作为集成电路金属互连线制造中的配套材料,由此成为最近国内研究的热点。

为了提高磁控溅射时靶材溅射效率以及确保沉积薄膜的质量,大量的试验研究表明,对超高纯铝合金溅射靶材的成分、微观组织结构、晶体取向等都有一定的要求。

靶材的晶粒尺寸、晶粒取向对集成电路薄膜的制备和性能有很大的影响。采用不同晶粒组织的材料进行溅射镀膜试验,结果表明:随着晶粒尺寸的增加,薄膜沉积速率降低;同一成分的溅射靶材,晶粒尺寸细小的靶材溅射速率要比大晶粒尺寸的靶材快;靶材晶粒大小越均匀,沉积薄膜的厚度分布也更加均匀。

李洪宾等人研究发现,在相同的溅射仪器和工艺参数下,Al-Cu合金靶材的溅射速率随原子密排度的增大而增加,但总体稳定在一个范围内,晶粒尺寸对溅射速率的影响源于原子密排度随晶粒尺寸变化而产生的变化;沉积速率主要受Al-Cu合金靶材晶粒取向的影响,在保证(200)晶面比例的基础上,(111)、(220)和(311)晶面比例升高使沉积速率增大。

超高纯铝合金靶材的晶粒尺寸和晶体取向主要通过铸锭的均匀化处理、热加工、再结晶退火进行调整和控制,随着晶圆尺寸向508px(8in)以及762px(12in)发展,靶材尺寸不断扩大,对超高纯铝合金溅射靶材提出了更高的要求。为了保证薄膜质量及成品率,必须严格控制靶材加工过程参数,使靶材组织均匀、晶体取向必须有较强的(200)、(220)面织构。

溅射靶材是干什么的?欧凯小编指出:溅射是制备薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

 

 溅射靶材的分类:

溅射靶材根据形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶。

根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材。

根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材。

根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等。

 

溅射靶材是干什么的?

溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。

现在国内靶材生产厂家挺多的,然而比较好的靶材生产商却寥寥无几,购买靶材真不好选。公司主要生产平板显示器用靶材、镀膜玻璃工业(主要包括建筑玻璃、汽车玻璃、光学薄膜玻璃等)用靶材、薄膜太阳能工业用靶材,我公司的生

 

靶材应该如何保养?

 

 

 

一、靶材保养

 

为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以最大功率密度进行溅射。

 

二、靶材储存

 

我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是贴合靶材更需要保存在真空条件下,以避免贴合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装,我们建议最少需要包装在洁净的塑料袋中。

 

三、靶材清洁

 

第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

 

第二步与第一步类似用酒精清洁;

 

第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

 

第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

 

四、短路及密封性检查

 

靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查,建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后,可以进行检漏检查,将水通入阴极确定是否存在漏水现象

 

五、包装和运输

 

所有靶材包装在真空密封塑料袋中,并附有防潮剂。外包装一般为木箱,四周有防撞层,以保护靶材和背靶避免在运输和储存过程中发生损坏。

 

高纯铝靶材加工方法

近日,不少朋友咨询关于高纯铝靶材加工方法的相关问题。欧凯靶材专家指出,锌铝靶材加工方法可以分为形变铝合金和铸造铝合金两大类:变形铝合金能承受压力加工。可加工成各种状态、规格的铝合金材。主要用于指导航空器材、建筑用门窗等。

形变铝合金又分为不可热处理强化型铝合金和可热处理强化型铝合金。不可热处理强化型不能通过热处理来提高机械性能,只能通过冷加工变形来实现强化,它主要包括高纯铝、工业高纯铝、工业纯铝以及方防锈铝等。可热处理强化剂铝合金通过淬火和时效等热处理手段来提高机械性能,它可分为硬铝、锻铝、超硬铝金和特殊铝合金等。

 

 

 

铸造铝合金化学成分可分为铝硅合金、铝铜合金、铝镁合金、铝锌合金和铝稀土合金,其中吕桂合金又有过共晶硅合金,工晶硅合金,单共晶硅铝合金,铸造铝合金在铸态下使用。一些铝合金加工可以采用热处理获得良好的机械性能,物理性能和抗腐蚀性能。

 

超级高纯5N精铝经过多次加热锻造,冷轧,数控机械加工而成,铝合金靶材凭借着晶粒极细,无任何碱性金属杂质,氧含量极低,适用于高端半导体等领域。




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